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EPD就是偵測上述plasma產生原理過程中激發狀態后退激所發出的光(在Chamer側壁觀察孔中可以看到不同gas起輝時發出的光顏色不同 ),然后將光信號轉化為電信號,這里電信號就是Chambe...
濕法刻蝕是把硅片放在強酸強堿的溶液里進行定量的刻蝕。而干法刻蝕主要是應用等離子體轟擊硅片的表面,從而在硅片上刻出邏輯電路的圖案。...
涂膠/顯影設備是在光刻工藝中與光刻機配合作業的重要設備。在曝光前,由涂膠機進行光刻機的涂覆;而后是光刻機對光刻膠進行曝光;在曝光后由顯影設備進行光刻圖案的顯影。在后...
無線通信主要包括微波通信和衛星通信。微波是一種無線電波,它傳送的距離一般只有幾十千米。但微波的頻帶很寬,通信容量很大。微波通信每隔幾十千米要建一個微波中繼站。衛星...
ESD意思是“靜電放電”,ESD電路用于芯片在受到靜電放電時保護芯片不受物理損傷。ESD能力在芯片端和應用端的概念是不一樣的,可以理解為芯片ESD和系統ESD,這是兩個完全不一樣的東...
提到薄膜,顧名思義膜厚度比較小,那么多少才是薄膜?有薄膜對應的就有厚膜。一般小于10um厚度的膜稱為薄膜,但絕大部分的薄膜的膜厚都是小于1um。大多都是以nm為膜厚的單位進行...
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