XT:1250i是ASML發布的TWINSCAN XT:1250的浸入式版本。兩個系統均在65 nm節點上運行，分辨率為70 nm。XT:1250適用于高級生產，而XT:1250i允許客戶測試和鑒定沉浸工藝。XT:1250和XT:1250i配備了Ultra-k1，這是一種硬件和軟件組合，使芯片制造商能夠縮減電路功能，確保高芯片產量，并最大限度地提高底線回報。
WINSCAN XT:1250i使用193nm波長的光，具有數值孔徑為0.85的透鏡系統。它被描述為預生產光刻掃描儀，標志著在1150i的Twinscan上的一個進步，這是ASML最初的浸入式原型，其數值孔徑相對較低，為0.75。
