尼康的這款i-line光刻機NSR 2205i12D是最受歡迎的光刻系統之一。分辨率≦350 nm，曝光光源i-line（365nm波長），縮小比1:5，曝光場22mm*22mm至17.9(H)*25.2(V)mm(6-inch reticle), 20.0*20.4mm(5-inch reticle), 對準精度 (EGA,|M|+3σ)≦55nm。NIKON NSR 2205i12D是步進器和掃描儀系統。NSR 2205i12D可用于8英寸晶圓尺寸。
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尼康的這款i-line光刻機NSR 2205i12D是最受歡迎的光刻系統之一。分辨率≦350 nm，曝光光源i-line（365nm波長），縮小比1:5，曝光場22mm*22mm至17.9(H)*25.2(V)mm(6-inch reticle), 20.0*20.4mm(5-inch reticle), 對準精度 (EGA,|M|+3σ)≦55nm。NIKON NSR 2205i12D是步進器和掃描儀系統。NSR 2205i12D可用于8英寸晶圓尺寸。
