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Hitachi日立電子顯微鏡 SEM S-2600N，于2003年投入使用，可用于晶圓檢測。...
TOPCON拓普康芯片外觀檢測設備Vi4202可以全自動檢查在晶片上圖案化的芯片和在擴展前切割的晶片（表面朝上/背面朝上）中的微小異物和缺陷，并以芯片為單位確定合格與否。...
Surfscan系列無圖案檢測儀旨在實時捕獲裸晶圓、光滑和粗糙薄膜和堆疊、光阻和光刻堆疊上的關鍵缺陷，并對其進行分類。...
SEMVision G2 的檢測組裝和處理使微小和淺缺陷的高質量地形圖像成為可能。高動態范圍檢測、背散射電子收集和能量過濾可實現高縱橫比成像。...
CS4800 提供高質量的 SEM 成像、改進的測量精度以及快速、自動化的操作，旨在提高現有生產線的生產力和運營效率，并提高客戶的過程控制能力。...
全200mm晶片、150mm晶片、晶片碎片和短柱安裝樣品。Loadlock允許樣本傳輸時間<2min；...
日立CD-SEM二手現貨掃描電鏡S-9220適用于8英寸晶圓的監測，CD檢測范圍0.1~2.0μm，最大吞吐量45wph，放大倍數1000~300,000。...
特征尺寸測量用掃描電子顯微鏡CD-SEM S-8840，適用于6英寸和8英寸晶圓的線寬測試。...
日立新型超高分辨SU8600掃描電鏡用于半導體樣品的形貌、結構研究及樣品的元素分析。...
現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。...
"RuliTEM"120 kV透射電子顯微鏡系列，包含配備高襯度透鏡，實現大視野、高對比度觀察的HT7800和配備同級別最高分辨率透鏡的HT7830...
專用掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與德國CEOS GmbH公司(總經理Max Haider先生)共同開發的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級納米技術研究。由于球差校正系統...
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